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洁净室的定义，早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的化，于是有ISO-14644的产生。以下说明洁净室的各种标准与规范。
Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。
ISO-14644系列;美国为了推动经济化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题，称为14644-1，14644-2，一直到14644-9。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。
JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定洁净室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义洁净室的分类与一般需求。
以上是洁净室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关洁净室污染控制(也就是洁净度控制)，和环境控制(如温湿度、震动噪音等)，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在洁净室性能测试的范围之内。
IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
NEBB 洁净室测试规范第二版：这是目前广为流行的测试规范，提到洁净室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 洁净室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 洁净室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 洁净室测试规范成功的成为产业标准。
ISO-14698 系列：14698 有三个子题，是有关生物污染的控制。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对洁净室的要求可能都不一样。
Clean Room — IQ、OQ、PQ
术语：
在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义：
空态 as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
动态 operational
设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下：
空态洁净室的检测——Installation qualificafion(IQ)
静态洁净室的检测——Operational qualificafion(OQ)
动态洁净室的检测——Performance qualificafion(PQ)
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检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：
1、洁净室设备的成套性；
2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；
3、公用和辅助设备功能运转是否正确；
4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（检查）日期；
5、安装质量；
6、安装过滤器（终过滤器）的完整性；
7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；
8、压差；
9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；
10、维护结构的密闭性；
11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计；
12、表面洁净度；
13、包装中是否有备件。
检查HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。
本阶段的检测至少应完成下列各项工作：
1、确认洁净区划分原则是否符合要求；
2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数；
3、确定保持温度和相对湿度的稳定性；
4、按粒子数确定洁净度级别；
5、确定压差；
6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度；
7、确定照度；
8、确定噪声级；
9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数（必要时）；
10、将取得数据结果写成书面文件。
为了评估动态洁净室工作的稳定性：
1、验证洁净室分割制度；
2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力；
3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度（必要时）；
4、验证压差；
5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度（必要时）；
6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等；
7、检查人员是否经过培训，是否有培训体系和相应的文件
必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。
在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性
检测可在洁净室工作过程中进行（重复检测）；
发生下列各项后需进行重复检测：
1、洁净室达不到给定参数的原因已消除；
2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异（如改变工艺流程等）；
3、空气长时间停止流通（进风）而影响洁净室工作；
4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。
NEBB检测认证风速测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认滤网出口风速是否达到设计要求。
法规依据：IEST推荐做法，参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器：风速仪，型号：ADM-870C
测试位置：每一滤网均作测试，每个滤网被划分成四个测试位置。
测试步骤：a.确认FFU配置图及滤网编号。
b.将风速仪探棒固定置于滤网测试点下方75mm处，待数值稳定后量测5秒取平均值记录。
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