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恢复度检测
检测仪器： 尘埃粒子计数器
一、测试目的
1 确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
1 颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置
1 任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1 .在测试开始之前要净房空调系统正常运转 24 以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。
2. 在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的 空气中含有的 0.3um 颗粒数量，连续测试数分钟，待取一个稳定的数据，此时，再将该房
间的整个空调系统全部断电。
3. 在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室 0.3um 的颗粒浓度达
到之前浓度的 10 或 100 倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓
度恢复到之前水平所需要的时间
一. 说明
气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。?
泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。
二. 测试仪器?
本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正。 ?
三. 测试方式
滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下
1.在图面上记录滤网数量并编号。
2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。?
3.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。
4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确
5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.
净化工程结束后，须进行检测，而洁净度是非常重要的一个指标（target aim)。下面介绍在检测时洁净度不符合要求的原因。
净化空调系统送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足
对于非单向流净化室，送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足即意味着室内所产生的含尘空气不能被适当地稀释(dilute)并及时排走。净化工程室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。对于单向流净化室来说，送风量不足即意味着断面风速达不到规定要求，不能产生活塞(piston)效应，平行气流在未达到工作面前有可能（maybe)已成为乱流，污染被扩散，无法满足工艺要求。
净化工程气流组织不合理
由于气流组织设计不合理，被污染空气不能被及时稀释(dilute)并排走，使得空气洁净度不能满足使用要求。净化标准对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）外部的压力（静压）。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏
过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏主要是指滤纸(Filter Paper)的破损及边框密封不严。过滤器在安装前应逐个、认真地进行检漏工作;过滤器的使用是一次性的，当其达到终阻力后应更换新品。
净化工程将过滤器(作用:过滤杂质等)置于空调机组内
有的净化空调系统将过滤器(作用:过滤杂质等)集中安装在空调机组送风机的正压出风段，这种做法虽然有一定的好处，但这样就将过滤器直接置于很高的风机出口压头之下，滤纸(Filter Paper)容易被气流吹破，造成整个系统洁净度超标。
过滤器安装不当
净化工程中，采用机械密封的过滤器(作用:过滤杂质等)除安装前进行精细的检漏外，安装时还应注意许多的方面，否则极易造成泄露。洁净规范用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。比如，过滤器密封条搭接错误，造成泄露;过滤器安装时，压紧螺栓(组成:头部和螺杆组成)应拧紧而且应施力均匀（jūn yún)，以免过滤器变形造成泄露;如由于运输、搬运使过滤器包装箱破损及在过滤器安装完毕的情况下，又在净化室内进行设备安装、土建施工等，凡此种种均可造成过滤器被粉尘(形态:固体微粒)污染。
