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高校过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认： 1. 滤网的材料无破损， 2. 安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有： 1. 气胶光度计测试法， 2. 微粒计数器测试法， 3. 率测试法， 4. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
二、方法
1.气溶胶光度计测试法
气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
2.微粒计数器测试法
半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可
PAO/DOP过滤器检漏
一. 说明
气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。
二. 测试仪器
本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年校正一次（光度计可用用英国DOP Solutions 品牌）。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正（气溶胶发生器通常用英国DOP Solutions 品牌的气溶胶发生器）。
气溶胶发生器：
光度计:
三. 测试方式
滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下
1.在图面上记录滤网数量并编号。
2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。
3.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。
4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确。
5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测。
DOP Solutions成立于1988年，是的和效检漏测试装置的供应商，20多年来一直走在检漏测试。DOP Solutions所提供的配件和过滤器测试装置在各行各业顾客的不断支持下成为了这个行业的。
2006年11月23日
在洁净室管理方面，制定洁净室行业标准和准则的组织主要有三个：国际标准化组织（International Organization for Standardization，简称ISO），美国国家标准协会（American National Standards Institute，简称ANSI）和环境科学与技术协会（Institute of Environmental Sciences and Technology，简称IEST）。
ISO已经制定了十年计划来发展世界洁净室标准。十七个成员国派出代表，组成了九个不同的工作小组制定这些标准。在过去的时间里，已经颁布了ISO 14644-1，2和4作为ISO和ANSI标准。其他的标准将在今后两年内发表。
IEST是由人员自愿参加的组织，50多年来，推荐了很多准则，都是从相关行业的有效实践发展而来的。许多相同的人员都协助发展ISO标准。
国际组织认可的三个ISO文件，同样也得到ANSI的认可。这些非营利组织一起为洁净室倾注了大量的知识和资源。
推荐使用的几个IEST准则执行，终用户便可以达到国际洁净室标准ISO 14664的要求：
● IEST-RP-CC001：HEPA 和 ULPA 过滤器——在选择洁净室的空气过滤器前就应考虑被推荐的准则。可以按照IEST-RP-CC007和IEST-RP -CC021 文件来测试过滤器的安装和使用。
● IEST-RP-CC002：单向流洁净空气设备——用于评价那些控制洁净室气流流向的各种产品和系统。
● IEST-RP-CC006：测试洁净室——评价如何运用微粒的测试及相关测试来达到ISO文件中相应的洁净等级要求。
● IEST-RP-CC007: 测试ULPA过滤器——这个被推荐的准则将用于评估在洁净室内使用的ULPA过滤器。
● IEST-RP-CC019: 洁净室及空气洁净装置的测试和认证人员的资格及代理资格的认定——提供指导方针，用于评估和选择那些参与测试验证洁净室的分包商。
● IEST-RP-CC021: 测试HEPA 和 ULPA过滤器的媒体——表述用于物理特性测试和过滤特性测试的方法（如：气流阻力，渗透测试，微粒数测试，基本重量测试，浓度测试，张力测试和拉伸测试），这个文件也包括一张表，提供了过滤器的测试频率。
IEST技术指南
另外，IEST发布了四个技术指南，为洁净室操作者在测试微粒的时候提供必要的帮助：
● IEST-G-CC1001: 分类计算空气粒子，监视洁净室和洁净区域；
● IEST-G-CC1002: 空气超细微粒的集中处理；
● IEST-G-CC1003: 测量空气中的大微粒；
● IEST-G-CC1004: 对洁净室和洁净区域的空气中洁净微粒进行分类时连续取样的计划。
在2000年，ISO14698 1和2发表了。第1部分提供了洁净室生物污染控制的通用的原则，而第2部分则提供了评估和说明生物污染数据的方法。协助洁净室作业人员达到ISO标准中相关的IEST所推荐的准则是：
● IEST-RP-CC013：设备的标度或确认的程序；
● IEST-RP-CC023：洁净室内的微生物。
这两个IEST文件修正后的终版本，完全符合ISO 14698标准。
计量和测试方法
ISO标准关于度量和测试方法仍处在国际标准起草的后阶段。IEST推荐的准则提供了同ISO14644-1和2一样的指导方针。另外，IEST-RP-CC01（粒子数测量的程序）和IEST-RP-CC034（HEPA 和ULPA过滤器漏出测试），提供的测试方法符合ISO14644-3。
ISO14644系列文件提供了设备设计、建筑结构和投产的指导方针。建筑师和洁净室的承包人希望达到ISO14644-4的建筑要求：洁净室和相关受控环境 ——第4部分，应参考IEST推荐准则，用来定义洁净室的洁净等级。另外，IEST-RP-CC012（洁净室设计的注意事项）可确保洁净室的生产设备设计和安装以佳的方式完成。这个文件包括一个表格，描述洁净室的等级、空气循
环的速度，以及按照洁净室等级推荐的每小时换气次数。
IEST-RP-CC024（测量和报告微电子设备振动）和 IEST-RP-CC030（洁净室电子系统）都对建筑公司关注的洁净室的特殊电子设备和设备振动要求等问题提供了指导。
● IEST 近发布了新版本的IEST-RP-CC022，表述洁净室和其他受控环境内的静电放电，从设计的各方面对静电进行控制。近修正的IEST推荐准则，对ISO 14644-5文件进行了补充，包括：
● IEST-RP-CC003：关于洁净室和其他受控环境内的服装，确保产品和人员避免受到污染。
● IEST-RP-CC004：评估洁净室和其他受控环境内用的擦拭材料——用来评价擦拭洁净室和产品表面的擦拭材料。在洁净室内应选择已明确了使用方法的擦拭材料。这个文件描述了评价擦拭材料的方法。
● IEST-RP-CC005：洁净室和其他受控环境内使用的手套、指套——用来选择手套，从而确保产品和人员避免与污染物及危险品接触。（设计和生产的手套不可能满足所有应用；所以要求使用者要根据不同的工艺需要，选择适当的手套。并根据手套的构造、力学性和热学性进行选择。）这个 IEST文件描述了测试手套的方法，指导如何正确戴上和脱下手套。
● IEST-RP-CC018：洁净室设备管理及保养作业和监控程序——提供了实用信息，涉及到清洁技巧、清洁装置、清洁剂、设备管理及保养清单，还有审核设备管理及保养作业的方法。
● IEST-RP-CC026：洁净室操作——提供了保持运行期间洁净室完整性的指导。
● IEST-RP-CC027：洁净室内和其它受控环境内有关人员的培训和程序——对工作在洁净室内人员的行为进行检查，包括外衣的要求。
为了更符合ISO14644-5，IEST工作小组也不懈努力地修正RP-20版本，洁净室文件的基础和模板；RP-25，评价洁净室内的擦洗工作；还有RP-32，洁净室的包装材料。
IEST也定期更新IEST-RD-CC011：这是一个术语表，表述有关污染控制的术语和定义，使实施污染控制的行业里的每一个人都知道当前共同的术语。在发布每一个被推荐的准则前，所有的术语和定义的一致性、准确性都被仔细检查。
一个ISO 14644工作小组制作一些相对立的附件，诸如洁净室内部的绝缘层系统和微环境。IEST近发布的IEST-RP-CC028：微环境，给洁净室内的微环境以明确的指导。
分子污染，在污染控制区域已经成为严峻的问题，在ISO14644-8“空气分子污染等级”文件有明确的表述。初步涉及了一些产品在洁净室环境生产过程中受到气体分子污染（AMC）的潜在影响，这导致生物产品还有晶圆的损伤。晶圆怕受到AMC的影响。IEST工作小组准备的IEST-RP-CC035讲述洁净室和受控环境的分子污染，这决定了HVAC系统在设计、过滤器的正确选择和建造洁净室材料中的使用。
挥发及不挥发物质
IEST近还发布了推荐准则，提供了关于挥发及不挥发物质的指导：
● IEST-RP-CC016：洁净室内不挥发物质残渣的沉积率—这个文件涉及在洁净室内，鉴定和监控不挥发残渣。决定了HVAC系统的设计，过滤器的正确选择和建造洁净室材料的使用。
● IEST-RP-CC031：洁净室原料实施脱气标准—提供了指导洁净室材料的选择，确保洁净室的兼容性。
近，IEST发布的IEST-MIL-STD1246：产品洁净水平和污染控制程序，描述了污染物的表面测试。文件提供了指导选择测试表面的方法，来确定所需的洁净水平。
另一个IEST工作小组准备修正MIL-HDBK-406：污染控制技术：在洁净室和清洁工作站内的使用的清洁物质，及精细预清洁方法。
这些ISO和IEST工作小组中的自愿者已经花费了大量的时间和精力去建立ISO标准和IEST推荐准则。但是在这些专职人员面前还有大量的工作，他们不断的完善，定期修改现有的文件，做一些必要的改变，来适应污染控制行业不断发展的需要。
洁净室自净时间测定规程
1.目的：制订本标准的目的是建立洁净室自净时间测定规程，检测洁净室受到污染后恢复标准要求的洁净度的能力。
2. 依据：国家药品监督管理局《药品生产质量管理规范》(1998年修订)附录一人民共和国行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》
3. 范围： 本标准适用于洁净室自净时间的检测。
4. 责任：工程部公用工程组操作人员对本标准的实施负责。
5. 正文：
5.1. 测试仪表：发烟器；悬浮粒子计数器。
5.2. 洁净室自净时间的测定应在洁净室停止运行相当时间，室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定，可用发烟器人工发烟。
5.3. 以大气尘浓度为基准时：
5.3.1. 先测出洁净室内浓度（N0）。
5.3.2. 立即开机运行，将悬浮粒子计数器的采样管放在工作区高度上，定时（如每0.5分钟）读数，直至浓度达低限度（N）或符合相应洁净度级别的要求为止，这一段时间即为实测自净时间。
5.4. 以人工发烟（如发巴兰香烟）为基准时：
5.4.1. 应将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点，发烟1~2分钟即停止。
5.4.2. 1分钟后，在工作区平面的中心点测定含尘浓度（N0），作为基准。立即开机运行并计时，定时（如每0.5分钟）读数，直至浓度达到低限度（N）或符合相应洁净度级别的要求为止，以这一段时间为实测自净时间。
5.5. 由测得的开机前的原始浓度或发烟停止后1分钟的污染浓度(N0)、室内达到稳定时的浓度(N)和实际换气次数(n)，查附图1得出计算自净时间。
5.6. 实测自净时间应不大于计算自净时间得1.2倍。 6. 附则：
6.1.本标准附图 幅，附表 张。
6.2. 需要引用本标准的标准文件登记：
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