净微科技NEBB检测,FAB厂净微科技NEBB检测认证供应商

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净微科技NEBB检测,FAB厂净微科技NEBB检测认证供应商

风速测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认滤网出口风速是否达到设计要求。
法规依据：IEST推荐做法，参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器：风速仪，型号：ADM-870C
测试位置：每一滤网均作测试，每个滤网被划分成四个测试位置。
测试步骤：a.确认FFU配置图及滤网编号。
b.将风速仪探棒固定置于滤网测试点下方75mm处，待数值稳定后量测5秒取平均值记录。









洁净度测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认无尘室洁净度等级是否达到设计要求。
法规依据：参考NEBB第二版无尘室测试程序标准,ISO 14644-1:1999(E)，无尘室空气洁净分类。
测试仪器：颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、3413、2100、2400。
测试位置：测量点数不得少于每个洁净室面积的根号，另针对业主要求局部增加测试点数，详细测试点位置见图纸。
测试步骤：a.确定滤网平均风速及滤网泄漏记录均已完成测试，且天花板、地板、墙板等工程之收边均已完成，才可开始环境微粒子测试。
b. 确认测试点及配置图编号。
c. 测量点之周围3m半径内无障碍和污染源。
d. 距离地板上1.2m高度固定微粒子计数器之取样头测量。
e. 每一测量点均测量一分钟，取平均值为测量值。
合格标准：ISO Class 5 :  10,200 count/ m³ @ 0.3µm & greater
ISO Class 6 : 102,000 count/ m³ @ 0.3µm & greater
35,200 count/ m³ @ 0.5µm & greater
ISO Class 7 : 352,000 count/ m³ @ 0.5µm & greater
ISO Class 8 : 3,520,000 count/ m³ @ 0.5µm & greater






温湿度测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认无尘室空调系统之温、湿度是否有达到设计要求。
法规依据：参考NEBB 标准。
测试仪器：温湿度仪（品牌Vaisala），型号：HMI41
测试位置：每40m2 取1点为量测点，详细测试点位置如图纸所示。
测试步骤：a.确认风速测试完成，空调送风系统已平衡调整，并以自动控制方式连续运转至少24小时以上才进行。
b.确认测试点及配置图编号。
c.将温湿度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测30秒记录。


















光照测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。
法规依据：参考NEBB 标准。
测试仪器：照度仪（品牌HIOKI），型号：3423
测试位置：每10m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数，详细测试点位置如图纸所示。
测试步骤：a.无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。
b.确认测试点及配置图编号。
c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测10秒记录。


















噪音测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。
法规依据：参考NEBB 标准。
测试仪器：噪音仪（品牌RION），型号：NL-31
测试位置：每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数，详细测试点位置如图纸所示。
测试步骤：a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。
b.确认测试点及配置图编号。
c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录大值。


















压力测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认无尘室压差是否有达到设计要求。
法规依据：参考NEBB 标准。
测试仪器：压力计，型号：ADM-870C
测试位置：无尘室内的所有可打开的门。
测试步骤：a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。
b.在测试期间，所有的无尘室和涉及到的区域的门都应关闭。
c.测量时将压力计的皮管放置在门的另一侧，测量稳定后记录数据。

过滤器泄漏测试流程
(光度计法)


一，目的

确保过滤器系统正确安装，通过验证安装和已安装的过滤器无缺陷、无细微泄漏 。


二，仪器和设备

ATI光度计，型号：ATI 2E
ATI 气溶胶发生器， ATI 5B / ATI 4B
挑战气溶胶： Emery 3004

三，状态说明

测试条件：静态

进风口浓度：
小值 20 毫克/升
范围 40 ~ 60 毫克/升

 大渗透值 <进风口浓度的0.01%

四，流程

参考： NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms,
- 2nd Edition

扫描试验法

1.光度计和气溶胶发生器将根据制造商的指令设置。

2.气溶胶发生器产生Emery 3004 气溶胶， 在过滤器上游。.

3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。

4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透值量。




过滤器泄漏测试流程
(光度计法)


5.使用矩形粒子计数器测头扫描过滤器，测头等速取样，扫描速度约为50毫米/秒。

6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后，挑战气溶胶的测试一致。

7.本行将对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。

气溶胶总渗透法

1.光度计和气溶胶发生器，将按照生产商的指令设置。

2.用气溶胶发生器将气溶胶3004释放在过滤器上游，热气溶胶发生器用于高流量。

3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。

4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透量。

5.对下游的空气进行采样，确定大渗透水平。

6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后挑战气溶胶的测试一致。

7.对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。

净化工程结束后，须进行检测，而洁净度是非常重要的一个指标（target aim)。下面介绍在检测时洁净度不符合要求的原因。

　　净化空调系统送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足

　　对于非单向流净化室，送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足即意味着室内所产生的含尘空气不能被适当地稀释(dilute)并及时排走。净化工程室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。对于单向流净化室来说，送风量不足即意味着断面风速达不到规定要求，不能产生活塞(piston)效应，平行气流在未达到工作面前有可能（maybe)已成为乱流，污染被扩散，无法满足工艺要求。

　　净化工程气流组织不合理

　　由于气流组织设计不合理，被污染空气不能被及时稀释(dilute)并排走，使得空气洁净度不能满足使用要求。净化标准对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）外部的压力（静压）。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

　　过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏

　　过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏主要是指滤纸(Filter Paper)的破损及边框密封不严。过滤器在安装前应逐个、认真地进行检漏工作;过滤器的使用是一次性的，当其达到终阻力后应更换新品。

　　净化工程将过滤器(作用:过滤杂质等)置于空调机组内

　　有的净化空调系统将过滤器(作用:过滤杂质等)集中安装在空调机组送风机的正压出风段，这种做法虽然有一定的好处，但这样就将过滤器直接置于很高的风机出口压头之下，滤纸(Filter Paper)容易被气流吹破，造成整个系统洁净度超标。

　　过滤器安装不当

　　净化工程中，采用机械密封的过滤器(作用:过滤杂质等)除安装前进行精细的检漏外，安装时还应注意许多的方面，否则极易造成泄露。洁净规范用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。比如，过滤器密封条搭接错误，造成泄露;过滤器安装时，压紧螺栓(组成:头部和螺杆组成)应拧紧而且应施力均匀（jūn yún)，以免过滤器变形造成泄露;如由于运输、搬运使过滤器包装箱破损及在过滤器安装完毕的情况下，又在净化室内进行设备安装、土建施工等，凡此种种均可造成过滤器被粉尘(形态:固体微粒)污染。