南昌电子厂NEBB检测认证

恢复度检测
检测仪器： 尘埃粒子计数器
一、测试目的
1 确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
1 颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置
1 任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1 .在测试开始之前要净房空调系统正常运转 24 以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。
2. 在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的 空气中含有的 0.3um 颗粒数量，连续测试数分钟，待取一个稳定的数据，此时，再将该房
间的整个空调系统全部断电。
3. 在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室 0.3um 的颗粒浓度达
到之前浓度的 10 或 100 倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓
度恢复到之前水平所需要的时间

泄漏测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：滤网安装后在出风处进行全面泄漏扫描，检查滤网是否于运送或安装过程中破裂或损坏，以达到设计要求。
法规依据：IEST推荐做法，参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器：颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、3413、2100、2400。
测试位置：在每一滤网下方做全面泄漏扫描，泄漏扫描仪应放置在滤网正下方约25mm的地方进行扫描。
测试步骤：
a.启动FFU，并调整其送风量维持在规格范围内。
b.确认FFU配置图及滤网编号。
c.利用微粒子计数器之探测棒置于滤网下约25mm，以50mm/s之速率沿着滤网之表面有规律之全面扫描（每块扫描的时间约在10分钟左右）。
d.泄漏扫描器在滤网下方逐一进行扫描时，如侦测到微粒子时，泄漏扫描器会自动鸣叫，此时将泄漏扫描器移回鸣叫点位置且扫描5秒以上，如没有继续鸣叫，表示无泄漏疑虑，此时可继续依规定路径扫描，直到扫描结束为止。
合格标准：将视现场的状况来判断，若以天花板上方静压室内微粒子数维持在100.000 Particles/ft3@ 0.3µm，则累计10个以上之0.3µm微粒时，便可判定泄漏。
修补：a.总修补面积需小于滤网表面积3%以下。
b.单点修补大尺寸不可超过38mm。

过滤器泄漏测试流程
(光度计法)


一，目的

确保过滤器系统正确安装，通过验证安装和已安装的过滤器无缺陷、无细微泄漏 。


二，仪器和设备

ATI光度计，型号：ATI 2E
ATI 气溶胶发生器， ATI 5B / ATI 4B
挑战气溶胶： Emery 3004

三，状态说明

测试条件：静态

进风口浓度：
小值 20 毫克/升
范围 40 ~ 60 毫克/升

 大渗透值 <进风口浓度的0.01%

四，流程

参考： NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms,
- 2nd Edition

扫描试验法

1.光度计和气溶胶发生器将根据制造商的指令设置。

2.气溶胶发生器产生Emery 3004 气溶胶， 在过滤器上游。.

3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。

4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透值量。




过滤器泄漏测试流程
(光度计法)


5.使用矩形粒子计数器测头扫描过滤器，测头等速取样，扫描速度约为50毫米/秒。

6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后，挑战气溶胶的测试一致。

7.本行将对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。

气溶胶总渗透法

1.光度计和气溶胶发生器，将按照生产商的指令设置。

2.用气溶胶发生器将气溶胶3004释放在过滤器上游，热气溶胶发生器用于高流量。

3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。

4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透量。

5.对下游的空气进行采样，确定大渗透水平。

6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后挑战气溶胶的测试一致。

7.对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。
第三方防静电检测机构，实验室具备防静电检测资质，可提供防静电产品检测服务，并出具第三方防静电检测报告。



　　1. 防静电活动地板

　　防静电检测标准：SJ/T 10796 《防静电活动地板通用规范》；

　　防静电检测项目：系统电阻、耐冲击性能、耐磨性能、支撑承载能力、外观。

　　2. 防静电地坪涂料

　　防静电检测标准：SJ/T 11294 《防静电地坪涂料通用规范》；

　　防静电检测项目：A 项测试 人/鞋/地系统电阻和人体电压、B 项测试 点对点电阻和对地电阻。

　　3. 防静电陶瓷砖

　　防静电检测标准：GB 26539 《防静电陶瓷砖》；

　　防静电检测项目：点对点电阻、表面电阻、体积电阻。

　　4. 防静电洁净工作服及织物

　　防静电检测标准：

　　SJ/T 11412 《防静电洁净工作服及织物通用规范》；

　　GB 12014 《防静电服》；

　　防静电检测项目：点对点电阻、带电电荷量、织物断裂强力、服装接缝强力、外观。

　　5. 电子工业用合成纤维防静电绸（布料）

　　防静电检测标准：SJ/T 11090 《电子工业用合成纤维防静电绸性能及试验方法》

　　防静电检测项目：摩擦带电电荷密度。

　　6. 防静电鞋、导电鞋

　　防静电检测标准：

　　GB 21146 《个体防护装备职业鞋》

　　GB/T 20991 《个体防护装备 鞋的测试方法》

　　防静电检测项目：鞋电阻、鞋帮拉伸性能。

　　7. 集成电路包装管

　　防静电检测标准：SJ/T 10147 《集成电路防静电包装管》

　　防静电检测项目：外观、透明度、翘曲与侧弯、静电电位、静电荷量、高低温性能。

　　8. 防静电贴面板

　　防静电检测标准：SJ/T 11236 《防静电贴面板通用规范》

　　防静电检测项目：外观、表面电阻及体积电阻、表面耐磨性、拉伸强度、加热尺寸变化率、加热质量损失率。

　　9. 可热封柔韧性防静电阻隔材料

　　防静电检测标准：GJB 2605 《可热封柔韧性防静电阻隔材料规范》

　　防静电检测项目：表面电阻率、静电屏蔽、外观。

　　10. 防静电周转容器

　　防静电检测标准：SJ/T 11277 《防静电周转容器通用规范》

　　防静电检测项目：外观、表面电阻率、静电衰减期、冲击强度（跌落）。

　　11. 离子化静电消除器

　　防静电检测标准：

　　SJ/T 11446 《离子化静电消除器通用规范》

　　IEC 61340-5-1 《静电学 - 第5-1部分：静电现象中电子设备的防护》

　　防静电检测项目：静电消散时间、残余电压。

　　12. 电子产品制造与应用系统、机房及防静电产品

　　防静电检测标准：

　　GJB 3007A 《防静电工作区技术要求》

　　SJ/T 10694 《电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范》

　　IEC 61340-5-1 《静电学 - 第5-1部分：静电现象中电子设备的防护 - 一般要求》

　　ANSI/ESD S20.20 《静电放电控制程序》

　　防静电检测项目：电压、电阻、静电衰减期、静电屏蔽、静电电量。

　　13. 固体绝缘材料

　　防静电检测标准：GB/T 1410 《固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》

　　防静电检测项目：体积电阻率、表面电阻率。

　　14. 防静电无尘擦拭布

　　防静电检测标准：SJ/T 11480 《防静电无尘擦拭布通用规范》

　　防静电检测项目：外观尺寸、表面电阻。

　　15. 电火工品

　　防静电检测标准：WJ 1912 《电火工品生产静电安全规程》

　　防静电检测项目：防静电性能、温湿度。
净化工程结束后，须进行检测，而洁净度是非常重要的一个指标（target aim)。下面介绍在检测时洁净度不符合要求的原因。

　　净化空调系统送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足

　　对于非单向流净化室，送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足即意味着室内所产生的含尘空气不能被适当地稀释(dilute)并及时排走。净化工程室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。对于单向流净化室来说，送风量不足即意味着断面风速达不到规定要求，不能产生活塞(piston)效应，平行气流在未达到工作面前有可能（maybe)已成为乱流，污染被扩散，无法满足工艺要求。

　　净化工程气流组织不合理

　　由于气流组织设计不合理，被污染空气不能被及时稀释(dilute)并排走，使得空气洁净度不能满足使用要求。净化标准对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）外部的压力（静压）。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

　　过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏

　　过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏主要是指滤纸(Filter Paper)的破损及边框密封不严。过滤器在安装前应逐个、认真地进行检漏工作;过滤器的使用是一次性的，当其达到终阻力后应更换新品。

　　净化工程将过滤器(作用:过滤杂质等)置于空调机组内

　　有的净化空调系统将过滤器(作用:过滤杂质等)集中安装在空调机组送风机的正压出风段，这种做法虽然有一定的好处，但这样就将过滤器直接置于很高的风机出口压头之下，滤纸(Filter Paper)容易被气流吹破，造成整个系统洁净度超标。

　　过滤器安装不当

　　净化工程中，采用机械密封的过滤器(作用:过滤杂质等)除安装前进行精细的检漏外，安装时还应注意许多的方面，否则极易造成泄露。洁净规范用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。比如，过滤器密封条搭接错误，造成泄露;过滤器安装时，压紧螺栓(组成:头部和螺杆组成)应拧紧而且应施力均匀（jūn yún)，以免过滤器变形造成泄露;如由于运输、搬运使过滤器包装箱破损及在过滤器安装完毕的情况下，又在净化室内进行设备安装、土建施工等，凡此种种均可造成过滤器被粉尘(形态:固体微粒)污染。
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NEBB是美国国家环境平衡局的简称，是1971年在美国成立的一家用于发展建筑系统测试标准、规范，程序等非盈利的机构, 现存的洁净室的认证标准于1988年创立。

创新、高标准，以及可被证明的记录使NEBB成为了该领域的。在过去的30年里，NEBB始终处于检测，平衡，洁净室，噪音，震动和建筑系统试运行等领域的认证程序的的地位。

检测项目:
风速和风速均匀度测试 （Airflow Velocity/Volume Test）
过滤器泄露测试（Filter Leak Test）
洁净度测试 （Airborne Particle Count Test）
温湿度测试 （Temperature & Relative Humidity Test）
光照度测试 （Light Intensity Test）
噪音测试 （Sound Pressure Level Test）
压差测试（Room Pressurization Test）
地板电阻测试（Floor & Wall Conductivity Test）
气流流型测试（Airflow Visualization Test）
恢复度测试 （Recovery Test）
气流平行度测试 (Airflow Parallelism Test)


如:洁净度测试:
•洁净度测试流程
•测前准备：
•竣工图面（初版）与相关规范确认。
•洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
•测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
•洁净室环境需清洁完成。
•测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
•测试目的：此检测动作在于确认无尘室洁净度等级是否达到设计要求。
•法规依据：参考NEBB第二版无尘室测试程序标准,ISO 14644-1:1999(E)，无尘室空气洁净分类。
•测试仪器：颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、3413、2100、2400。
•测试位置：测量点数不得少于每个洁净室面积的根号，另针对业主要求局部增加测试点数，详细测试点位置见图纸。
•测试步骤：a.确定滤网平均风速及滤网泄漏记录均已完成测试，且天花板、地板、墙板等工程之收边均已完成，才可开始环境微粒子测试。
•b. 确认测试点及配置图编号。
•c. 测量点之周围3m半径内无障碍和污染源。
•d. 距离地板上1.2m高度固定微粒子计数器之取样头测量。
• e. 每一测量点均测量一分钟，取平均值为测量值。
• 合格标准：ISO Class 5:≤10,200 count/ m³ @ 0.3µm & greater
• ISO Class 6:≤102,000 count/ m³ @ 0.3µm & greater
• ≤35,200 count/ m³ @ 0.5µm & greater
• ISO Class 7:≤352,000 count/ m³ @ 0.5µm & greater
• ISO Class 8:≤3,520,000 count/ m³ @ 0.5µm & greater