无尘厂房净微科技NEBB检测认证

恢复度检测
检测仪器： 尘埃粒子计数器
一、测试目的
1 确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
1 颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置
1 任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1 .在测试开始之前要净房空调系统正常运转 24 以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。
2. 在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的 空气中含有的 0.3um 颗粒数量，连续测试数分钟，待取一个稳定的数据，此时，再将该房
间的整个空调系统全部断电。
3. 在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室 0.3um 的颗粒浓度达
到之前浓度的 10 或 100 倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓
度恢复到之前水平所需要的时间

过滤器泄漏测试流程
(光度计法)


一，目的

确保过滤器系统正确安装，通过验证安装和已安装的过滤器无缺陷、无细微泄漏 。


二，仪器和设备

ATI光度计，型号：ATI 2E
ATI 气溶胶发生器， ATI 5B / ATI 4B
挑战气溶胶： Emery 3004

三，状态说明

测试条件：静态

进风口浓度：
小值 20 毫克/升
范围 40 ~ 60 毫克/升

 大渗透值 <进风口浓度的0.01%

四，流程

参考： NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms,
- 2nd Edition

扫描试验法

1.光度计和气溶胶发生器将根据制造商的指令设置。

2.气溶胶发生器产生Emery 3004 气溶胶， 在过滤器上游。.

3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。

4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透值量。




过滤器泄漏测试流程
(光度计法)


5.使用矩形粒子计数器测头扫描过滤器，测头等速取样，扫描速度约为50毫米/秒。

6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后，挑战气溶胶的测试一致。

7.本行将对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。

气溶胶总渗透法

1.光度计和气溶胶发生器，将按照生产商的指令设置。

2.用气溶胶发生器将气溶胶3004释放在过滤器上游，热气溶胶发生器用于高流量。

3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。

4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透量。

5.对下游的空气进行采样，确定大渗透水平。

6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后挑战气溶胶的测试一致。

7.对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。

净化工程结束后，须进行检测，而洁净度是非常重要的一个指标（target aim)。下面介绍在检测时洁净度不符合要求的原因。

　　净化空调系统送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足

　　对于非单向流净化室，送风量(定义:单位时间内空气的流通量)不足即意味着室内所产生的含尘空气不能被适当地稀释(dilute)并及时排走。净化工程室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。对于单向流净化室来说，送风量不足即意味着断面风速达不到规定要求，不能产生活塞(piston)效应，平行气流在未达到工作面前有可能（maybe)已成为乱流，污染被扩散，无法满足工艺要求。

　　净化工程气流组织不合理

　　由于气流组织设计不合理，被污染空气不能被及时稀释(dilute)并排走，使得空气洁净度不能满足使用要求。净化标准对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）外部的压力（静压）。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

　　过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏

　　过滤器(作用:过滤杂质等)的损坏主要是指滤纸(Filter Paper)的破损及边框密封不严。过滤器在安装前应逐个、认真地进行检漏工作;过滤器的使用是一次性的，当其达到终阻力后应更换新品。

　　净化工程将过滤器(作用:过滤杂质等)置于空调机组内

　　有的净化空调系统将过滤器(作用:过滤杂质等)集中安装在空调机组送风机的正压出风段，这种做法虽然有一定的好处，但这样就将过滤器直接置于很高的风机出口压头之下，滤纸(Filter Paper)容易被气流吹破，造成整个系统洁净度超标。

　　过滤器安装不当

　　净化工程中，采用机械密封的过滤器(作用:过滤杂质等)除安装前进行精细的检漏外，安装时还应注意许多的方面，否则极易造成泄露。洁净规范用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。比如，过滤器密封条搭接错误，造成泄露;过滤器安装时，压紧螺栓(组成:头部和螺杆组成)应拧紧而且应施力均匀（jūn yún)，以免过滤器变形造成泄露;如由于运输、搬运使过滤器包装箱破损及在过滤器安装完毕的情况下，又在净化室内进行设备安装、土建施工等，凡此种种均可造成过滤器被粉尘(形态:固体微粒)污染。