上海无尘室第三方NEBB测试认证验收

高校过滤器检漏

　　一、说明

　　过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认： 1. 滤网的材料无破损， 2. 安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有： 1. 气胶光度计测试法， 2. 微粒计数器测试法， 3. 率测试法， 4. 外气测试法。后两种现在使用非常少。

　　二、方法

　　1.气溶胶光度计测试法

　　气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

　　2.微粒计数器测试法

　　半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

　　PAO/DOP过滤器检漏

　　一. 说明

　　气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

　　泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。

　　二. 测试仪器

　　本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年校正一次（光度计可用用英国DOP Solutions 品牌）。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正（气溶胶发生器通常用英国DOP Solutions 品牌的气溶胶发生器）。

　　气溶胶发生器：

　　光度计:

　　三. 测试方式

　　滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下

　　1.在图面上记录滤网数量并编号。

　　2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。

　　3.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。

　　4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确。

　　5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测。

　　DOP Solutions成立于1988年，是的和效检漏测试装置的供应商，20多年来一直走在检漏测试。DOP Solutions所提供的配件和过滤器测试装置在各行各业顾客的不断支持下成为了这个行业的。

2006年11月23日

　　在洁净室管理方面，制定洁净室行业标准和准则的组织主要有三个：国际标准化组织（International Organization for Standardization，简称ISO），美国国家标准协会（American National Standards Institute，简称ANSI）和环境科学与技术协会（Institute of Environmental Sciences and Technology，简称IEST）。

　　ISO已经制定了十年计划来发展世界洁净室标准。十七个成员国派出代表，组成了九个不同的工作小组制定这些标准。在过去的时间里，已经颁布了ISO 14644-1，2和4作为ISO和ANSI标准。其他的标准将在今后两年内发表。

　　IEST是由人员自愿参加的组织，50多年来，推荐了很多准则，都是从相关行业的有效实践发展而来的。许多相同的人员都协助发展ISO标准。

　　国际组织认可的三个ISO文件，同样也得到ANSI的认可。这些非营利组织一起为洁净室倾注了大量的知识和资源。

　　推荐使用的几个IEST准则执行，终用户便可以达到国际洁净室标准ISO 14664的要求：

　　● IEST-RP-CC001：HEPA 和 ULPA 过滤器——在选择洁净室的空气过滤器前就应考虑被推荐的准则。可以按照IEST-RP-CC007和IEST-RP -CC021 文件来测试过滤器的安装和使用。

　　● IEST-RP-CC002：单向流洁净空气设备——用于评价那些控制洁净室气流流向的各种产品和系统。

　　● IEST-RP-CC006：测试洁净室——评价如何运用微粒的测试及相关测试来达到ISO文件中相应的洁净等级要求。

　　● IEST-RP-CC007: 测试ULPA过滤器——这个被推荐的准则将用于评估在洁净室内使用的ULPA过滤器。

　　● IEST-RP-CC019: 洁净室及空气洁净装置的测试和认证人员的资格及代理资格的认定——提供指导方针，用于评估和选择那些参与测试验证洁净室的分包商。

　　● IEST-RP-CC021: 测试HEPA 和 ULPA过滤器的媒体——表述用于物理特性测试和过滤特性测试的方法（如：气流阻力，渗透测试，微粒数测试，基本重量测试，浓度测试，张力测试和拉伸测试），这个文件也包括一张表，提供了过滤器的测试频率。

　　IEST技术指南

　　另外，IEST发布了四个技术指南，为洁净室操作者在测试微粒的时候提供必要的帮助：

　　● IEST-G-CC1001: 分类计算空气粒子，监视洁净室和洁净区域；

　　● IEST-G-CC1002: 空气超细微粒的集中处理；

　　● IEST-G-CC1003: 测量空气中的大微粒；

　　● IEST-G-CC1004: 对洁净室和洁净区域的空气中洁净微粒进行分类时连续取样的计划。

　　在2000年，ISO14698 1和2发表了。第1部分提供了洁净室生物污染控制的通用的原则，而第2部分则提供了评估和说明生物污染数据的方法。协助洁净室作业人员达到ISO标准中相关的IEST所推荐的准则是：

　　● IEST-RP-CC013：设备的标度或确认的程序；

　　● IEST-RP-CC023：洁净室内的微生物。

　　这两个IEST文件修正后的终版本，完全符合ISO 14698标准。

　　计量和测试方法

　　ISO标准关于度量和测试方法仍处在国际标准起草的后阶段。IEST推荐的准则提供了同ISO14644-1和2一样的指导方针。另外，IEST-RP-CC01（粒子数测量的程序）和IEST-RP-CC034（HEPA 和ULPA过滤器漏出测试），提供的测试方法符合ISO14644-3。

　　ISO14644系列文件提供了设备设计、建筑结构和投产的指导方针。建筑师和洁净室的承包人希望达到ISO14644-4的建筑要求：洁净室和相关受控环境 ——第4部分，应参考IEST推荐准则，用来定义洁净室的洁净等级。另外，IEST-RP-CC012（洁净室设计的注意事项）可确保洁净室的生产设备设计和安装以佳的方式完成。这个文件包括一个表格，描述洁净室的等级、空气循

　　环的速度，以及按照洁净室等级推荐的每小时换气次数。

　　IEST-RP-CC024（测量和报告微电子设备振动）和 IEST-RP-CC030（洁净室电子系统）都对建筑公司关注的洁净室的特殊电子设备和设备振动要求等问题提供了指导。

　　● IEST 近发布了新版本的IEST-RP-CC022，表述洁净室和其他受控环境内的静电放电，从设计的各方面对静电进行控制。近修正的IEST推荐准则，对ISO 14644-5文件进行了补充，包括：

　　● IEST-RP-CC003：关于洁净室和其他受控环境内的服装，确保产品和人员避免受到污染。

　　● IEST-RP-CC004：评估洁净室和其他受控环境内用的擦拭材料——用来评价擦拭洁净室和产品表面的擦拭材料。在洁净室内应选择已明确了使用方法的擦拭材料。这个文件描述了评价擦拭材料的方法。

　　● IEST-RP-CC005：洁净室和其他受控环境内使用的手套、指套——用来选择手套，从而确保产品和人员避免与污染物及危险品接触。（设计和生产的手套不可能满足所有应用；所以要求使用者要根据不同的工艺需要，选择适当的手套。并根据手套的构造、力学性和热学性进行选择。）这个 IEST文件描述了测试手套的方法，指导如何正确戴上和脱下手套。

　　● IEST-RP-CC018：洁净室设备管理及保养作业和监控程序——提供了实用信息，涉及到清洁技巧、清洁装置、清洁剂、设备管理及保养清单，还有审核设备管理及保养作业的方法。

　　● IEST-RP-CC026：洁净室操作——提供了保持运行期间洁净室完整性的指导。

　　● IEST-RP-CC027：洁净室内和其它受控环境内有关人员的培训和程序——对工作在洁净室内人员的行为进行检查，包括外衣的要求。

　　为了更符合ISO14644-5，IEST工作小组也不懈努力地修正RP-20版本，洁净室文件的基础和模板；RP-25，评价洁净室内的擦洗工作；还有RP-32，洁净室的包装材料。

　　IEST也定期更新IEST-RD-CC011：这是一个术语表，表述有关污染控制的术语和定义，使实施污染控制的行业里的每一个人都知道当前共同的术语。在发布每一个被推荐的准则前，所有的术语和定义的一致性、准确性都被仔细检查。

　　一个ISO 14644工作小组制作一些相对立的附件，诸如洁净室内部的绝缘层系统和微环境。IEST近发布的IEST-RP-CC028：微环境，给洁净室内的微环境以明确的指导。

　　分子污染，在污染控制区域已经成为严峻的问题，在ISO14644-8“空气分子污染等级”文件有明确的表述。初步涉及了一些产品在洁净室环境生产过程中受到气体分子污染（AMC）的潜在影响，这导致生物产品还有晶圆的损伤。晶圆怕受到AMC的影响。IEST工作小组准备的IEST-RP-CC035讲述洁净室和受控环境的分子污染，这决定了HVAC系统在设计、过滤器的正确选择和建造洁净室材料中的使用。

　　挥发及不挥发物质

　　IEST近还发布了推荐准则，提供了关于挥发及不挥发物质的指导：

　　● IEST-RP-CC016：洁净室内不挥发物质残渣的沉积率—这个文件涉及在洁净室内，鉴定和监控不挥发残渣。决定了HVAC系统的设计，过滤器的正确选择和建造洁净室材料的使用。

　　● IEST-RP-CC031：洁净室原料实施脱气标准—提供了指导洁净室材料的选择，确保洁净室的兼容性。

　　近，IEST发布的IEST-MIL-STD1246：产品洁净水平和污染控制程序，描述了污染物的表面测试。文件提供了指导选择测试表面的方法，来确定所需的洁净水平。

　　另一个IEST工作小组准备修正MIL-HDBK-406：污染控制技术：在洁净室和清洁工作站内的使用的清洁物质，及精细预清洁方法。

　　这些ISO和IEST工作小组中的自愿者已经花费了大量的时间和精力去建立ISO标准和IEST推荐准则。但是在这些专职人员面前还有大量的工作，他们不断的完善，定期修改现有的文件，做一些必要的改变，来适应污染控制行业不断发展的需要。

乱流原理

　　[2]洁净室按其气流状态来区分，主要分为乱流(非单向流)洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室(也有称矢流洁净室的)，这一节主要讨论乱流洁净室。前面已经指出，不论是哪一种洁净室，都是紊流流态。那为什么不都叫紊流洁净室呢?

　　乱流洁净室的名称是借用于日文，但是日文的乱流就是紊流的意思，而中国早在《空气洁净技术措施》中正式采用的乱流一词是兼有紊流的含义而不同于流体力学上的紊流这一专有名词。现在国际上则习惯称这种洁净室为非单向流洁净室。

　　所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式：

　　⑴过滤器顶送(有扩散板和无扩散板

　　⑵流线型散流器顶进

　　⑶局部孔板顶送

　　⑷侧送

　　具有这些送风形式的洁净室，如以雷诺数判断，显然属于紊流流态，但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送，室内速度达到0.25m/s

　　以上，这种室内的流动状态也是紊流，但在后面就会搞清楚，虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态，但是就其净化室内空气的原理来说，却是根本不同的，后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室，则后者也应被包含进去了。

　　乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流;非均匀流。

　　这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。紊流主要决定于雷诺数，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个过滤器顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混，而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。

　　所以，概括地说，乱流洁净室的作用原理是：当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合，同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的技果就越好。所以乱流洁净室的原理就是稀释作用。

　　三、控管项目

　　1、能除去空气中飘游之微尘粒子。

　　2、能防止微尘粒子之产生。

　　3、温度和湿度之控制。

　　4、压力之调节。

　　5、 有害气体之排除。

　　6、结构物与隔间之气密性。

　　7、静电之防制。

　　8、电磁干扰预防。

　　9、安全因素之考虑。

　　10、节能之考量。

　　空气净化方法

　　1

　　、整体净化：可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧全面地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外，而达到好的除菌效果。

　　⑴过滤除菌技术：空气洁净主要靠或效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理：①网截阻留;②筛孔阻留;③静电吸引阻留;④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此，过滤洁净技术是一种综合作用的结果。

　　⑵滤材结构：生物洁净室所用滤材级别多数为或效滤材，所用滤材有：玻璃棉制滤材、纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。滤材对空气中

　　0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ，效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。

　　2 、局部净化

　　⑴洁净层流罩：洁净层流罩是医院局部空气净化装置。一般可构成垂直层流方式，四周用透明围幕。整个罩内可保持高洁净度(万级至百级)空气。这种洁净层流罩可用于功能低下病人的治疗保护，所以也称无菌病床层流罩。

　　⑵净化操作台：采用水平或垂直层流方式净化箱体内的空气，可使操作台内净化达到很别。

　　⑶静电吸附除菌净化技术：静电吸附除菌是利用工业电除尘的原理，在小型化技术方面有所创新。①采用细线放电极与蜂巢状铝箱收集极形成级线装置;②采用镜象力荷电吸附作用。

　　目前有一种三级净化装置，即预过滤 - 过滤 -

　　活性炭吸附，组合式正离子静电吸附除菌，并采用大风量空气净化，以室内空气净化次数，较好地解决了医院部门如手术室、 ICU

　　、母婴病房、血液透析室等有人情况下的空气持续消毒问题，可使医院室内空气的净化洁净度达到 10 万级 ~1 万级。

　　⑷负离子净化技术：负离子是一种带负电的化学基团，能发生可逆性变化，存在时间极短，本身并无杀灭微生物的能力，主要是靠带电离子与空气中的微粒特别是微生物颗粒结合，形成多个颗粒凝聚变大从而迅速沉降，使空气达到净化的目的。空气中负离子只有在具备某些化学性质时，如活性氧离子等，它们才具有侵害蛋白质的能力从而杀灭微生物，因此负离子对空气净化的能力比较有限，对空气中微生物粒子清除率只能达到

　　70%~90%。

　　四、分类

　　乱流式(Turbulent Flow)

　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

　　定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。

　　特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多，净化级别越高)

　　⑴自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟)

　　(可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟)

　　(可取30min计算)

　　⑵换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范：50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时

　　(规范：25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范：15次/小时)

　　优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

　　层流式(Laminar)

　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class

　　1~100。其型式可分为二种：

　　⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

　　⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

　　复合式(Mixed Type)

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　⑴洁净隧道(Clean

　　Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。

　　此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

　　⑵洁净管道(Clean

　　Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

　　⑶并装局部洁净室(Clean

　　Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

　　洁净工作台：等级Class 1~100级。

　　洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

洁净室漏光法检测与漏风量测试方法

　　Ａ．１洁净室漏光法检测

　　A.1.1漏光法检测是利用光线对小孔的强穿透力，对系统风管严密程度进行检测的方法。

　　A.1.2检测应采用具有一定强度的安全光源。手持移动光源可采用不低于100W带保护罩的低压照明灯，或其他低压光源。

　　A.1.3系统风管漏光检测时，光源可置于风管内侧或外侧，但其相对侧应为暗黑环境。检测光源应沿着被检测接口部位与接缝作缓慢移动，在另一侧进行观察，当发现有光线射出，则说明查到明显漏风处，并应做好记录。

　　A.1.4对系统风管的检测，宜采用分段检测、汇总分析的方法。在严格安装质量管理的基础上，系统风管的检测以总管和干管为主。当采用漏光法检测系统的严密性时，低压系统风管以每10m接缝，漏光点不大于２处，且100m接缝平均不大于16处为合格；中压系统风管每10m接缝，漏光点不大于１处，且100m接缝平均不大于８处为合格。

　　A.1.5漏光检测中对发现的条缝形漏光，应作密封处理。

　　Ａ.２测试装置

　　A.2.1漏风量测试应采用经检验合格的测量仪器，或采用符合现行国家标准《流量测量节流装置》规定的计量元件搭设的测量装置。

　　A.2.2漏风量测试装置可采用风管式或风室式。风管式测试装置采用孔板做计量元件；风室式测试装置采用喷嘴做计量元件。

　　A.2.3漏风量测试装置的风机，其风压和风量应选择分别大于被测定系统或设备的规定试验压力及大允许漏风量的1.2倍。

　　A.2.4漏风量测试装置试验压力的调节，可采用调整风机转速的方法，也可采用控制节流装置开度的方法。漏风量值在系统经调整后，保持稳压的条件下测得。

　　A.2.5漏风量测试装置的压差测定应采用微压计，其小读数分格不应大于2.0Pa。

　　A.2.6风管式漏风量测试装置：

　　１、风管式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、整流栅、节流器和标准孔板等组成。

　　２、本装置采用角接取压的标准孔板。孔板β值范围为0.22~0.7(β=d/D)；孔板至前、后整流栅及整流栅外直管段距离，应分别符合大于１０倍和５倍圆管直径Ｄ的规定。

　　３、本装置的连接风管均为光滑圆管。孔板至上游２Ｄ范围内其圆度允许偏差为0.3%；下游为2%。

　　４、孔板与风管连接，其前端与管道轴线垂直度允许偏差为１°；孔板与风管同心度允许偏差为0.015D。

　　５、在整流栅后，所有连接部分应该严密不漏。

　　6、孔板的流量系数与β值的关系确定，其适用范围应满足下列条件，在此范围内，不计管道粗糙度对流量系数的影响。

　　105
　　0.05<β≤0.49

　　50mm
　　雷诺数小于105时，则应按现行国家标准《流量测量节流装置》求得流量系数α。

　　８、孔板的空气流束膨胀系数ε值查得。

　　表A.2.6 采用角接取压标准孔流束膨胀系数ε值（k=1.4）

　　９、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时，装置连接应符合规定。

　　A.2.7、风室式漏风量测试装置：

　　１、风室式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、均流板、节流器、风室、隔板和喷嘴等组成。

　　２、测试装置采用标准长劲喷嘴。喷嘴按要求安装在隔板上，数量可为单个或多个。两个喷嘴之间的中心距离不得小于较大喷嘴喉部直径的３倍；任一喷嘴中心到风室近侧壁的距离不得小于其喷嘴喉部直径的1.5倍。

　　３、风室的断面面积不应小于被测定风量按断面平均速度小于0.75m/s时的断面积。风室内均流板（多孔板）安装位置应符合规定。

　　４、风室中喷嘴两端的静压取压接口，应为多个且均布于四壁。静压取压接口至喷嘴隔板的距离不得大于小喷嘴喉部直径的1.5倍。然后，并联成静压环，再与测压仪器相接。

　　５、平共处采用本装置测定漏风量时，通过喷嘴喉部的流速应控制在15~35m/s范围内。

　　６、本装置要求风室中喷嘴隔板后的所有连接部分应严密不漏。

　　表A.2.7喷嘴流量系数表

　　８、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时，装置连接应符合规定。

　　Ａ.3、漏风量的测试

　　A.3.1、正压或负压系统风管与设备的漏风量测试，分正压试验和负压试验两类。一般可采用正压条件下的测试来检验。

　　A.3.2、系统漏风量测试可以整体或分段进行。测试时，被测系统的所有开口均应封闭，不应漏风。

　　A.3.3、被测系统的漏风量超过设计和本规范的规定时，应查出漏风部位（可用听、摸、观察、水或烟检漏），做好标记；修补完工后，重新测试，直至合格。

　　A.3.4、漏风量测定值一般应为规定测试压力下的实测数值。特殊条件下，也可用相近或大于规定压力下的测试代替，其漏风量可按下式换算：

　　Q0=Q(P0/P)0.65

　　式中 P0————规定试验压力，500Pa;

　　Q0————规定试验压力下的漏风量{m3/(h·┫)}；

　　P——风管工作压力(Pa);

　　Q——工作压力下的漏风量{m3/(h·┫)}。

　　附录Ｂ　洁净室测试方法

　　B.1、风量或风速的检测

　　B.1.1、对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于５个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

　　B.1.2、对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下：

　　１、风口法是在安装有过滤器的风口处，根据风口开头连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口开头及内截面相同，长度等于２倍风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按少测点数不少于６点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。

　　２、对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前３倍管径或长边长，局部阻力部件后５部管径或长边长的部位。

　　对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于３个。

　　对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测４点。根据管径确定圆环数量，不宜少于３个。

　　B.2、洁净室静压差的检测

　　B.2.1、静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测定。

　　B.2.2、采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。

　　B.2.3、有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

NEBB第三方检测认证前客户的准备工作； 1，准备洁净服和洁净室需要的穿戴用具及洁净小推车； 2，需提前做好人员和仪器进厂预约登记，根据现场认证完成情况提前开具人员和仪器出门单等手续； 3，保持洁净室的净化系统正常运行少24小时以上，保持洁净室的清洁和清扫； 4，检查风机系统是否在工作正常，对故障的风机提前做好处理和更换。并根据风机的送风档位提前进行调节，以避免风机送风过高或过低，节约现场时临时调节时间； 5，查看温湿度数据，如有偏差提前进行调节； 6，对装有散流罩的过滤器需要检测风速和扫漏的（如有），需要安排人员进行拆装配合； 7，确认检测认证和验收标准（除洁净度以外的项目标准）; 8，有条件的提前备上过滤器总数量的5%-10%（少3%）作为更换过滤器备用；9，层高4米的需要提前准备登高辅助装置或安排； 10，检测认证具体开始时间、现场对接的详细地址和联系人等信息

NEBB检测认证报价需要提供的信息： 1，洁净度等级（设计施工以及认证等级，不同房间不同等级进行说明）； 2，洁净面积、房间数量层高（总面积以及对应房间面积） 3，过滤器数量和尺寸（如装有散流罩需说明，PAO测试需告知是否有预留测试孔）； 4，检测项目（NEBB常规项：风速、温湿度、压差、洁净度，其他为可选项目：过滤器检漏、噪音、照度、地板静电等，可根据工艺或要求进行增加）； 5，测试地点、预计测试时间，以及特殊要求完成的工期（是否赶工）； 6，测试状态（空态、静态或动态中的一种，或者需要几种状态都进行测试，一般只进行一种状态）； 7，测试标准及特殊测试要求（如有请提供）