重庆面板厂第三方NEBB测试认证验收

高校过滤器检漏

　　一、说明

　　过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认： 1. 滤网的材料无破损， 2. 安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有： 1. 气胶光度计测试法， 2. 微粒计数器测试法， 3. 率测试法， 4. 外气测试法。后两种现在使用非常少。

　　二、方法

　　1.气溶胶光度计测试法

　　气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

　　2.微粒计数器测试法

　　半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

　　PAO/DOP过滤器检漏

　　一. 说明

　　气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

　　泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。

　　二. 测试仪器

　　本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年校正一次（光度计可用用英国DOP Solutions 品牌）。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正（气溶胶发生器通常用英国DOP Solutions 品牌的气溶胶发生器）。

　　气溶胶发生器：

　　光度计:

　　三. 测试方式

　　滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下

　　1.在图面上记录滤网数量并编号。

　　2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。

　　3.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。

　　4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确。

　　5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测。

　　DOP Solutions成立于1988年，是的和效检漏测试装置的供应商，20多年来一直走在检漏测试。DOP Solutions所提供的配件和过滤器测试装置在各行各业顾客的不断支持下成为了这个行业的。

洁净室漏光法检测与漏风量测试方法

　　Ａ．１洁净室漏光法检测

　　A.1.1漏光法检测是利用光线对小孔的强穿透力，对系统风管严密程度进行检测的方法。

　　A.1.2检测应采用具有一定强度的安全光源。手持移动光源可采用不低于100W带保护罩的低压照明灯，或其他低压光源。

　　A.1.3系统风管漏光检测时，光源可置于风管内侧或外侧，但其相对侧应为暗黑环境。检测光源应沿着被检测接口部位与接缝作缓慢移动，在另一侧进行观察，当发现有光线射出，则说明查到明显漏风处，并应做好记录。

　　A.1.4对系统风管的检测，宜采用分段检测、汇总分析的方法。在严格安装质量管理的基础上，系统风管的检测以总管和干管为主。当采用漏光法检测系统的严密性时，低压系统风管以每10m接缝，漏光点不大于２处，且100m接缝平均不大于16处为合格；中压系统风管每10m接缝，漏光点不大于１处，且100m接缝平均不大于８处为合格。

　　A.1.5漏光检测中对发现的条缝形漏光，应作密封处理。

　　Ａ.２测试装置

　　A.2.1漏风量测试应采用经检验合格的测量仪器，或采用符合现行国家标准《流量测量节流装置》规定的计量元件搭设的测量装置。

　　A.2.2漏风量测试装置可采用风管式或风室式。风管式测试装置采用孔板做计量元件；风室式测试装置采用喷嘴做计量元件。

　　A.2.3漏风量测试装置的风机，其风压和风量应选择分别大于被测定系统或设备的规定试验压力及大允许漏风量的1.2倍。

　　A.2.4漏风量测试装置试验压力的调节，可采用调整风机转速的方法，也可采用控制节流装置开度的方法。漏风量值在系统经调整后，保持稳压的条件下测得。

　　A.2.5漏风量测试装置的压差测定应采用微压计，其小读数分格不应大于2.0Pa。

　　A.2.6风管式漏风量测试装置：

　　１、风管式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、整流栅、节流器和标准孔板等组成。

　　２、本装置采用角接取压的标准孔板。孔板β值范围为0.22~0.7(β=d/D)；孔板至前、后整流栅及整流栅外直管段距离，应分别符合大于１０倍和５倍圆管直径Ｄ的规定。

　　３、本装置的连接风管均为光滑圆管。孔板至上游２Ｄ范围内其圆度允许偏差为0.3%；下游为2%。

　　４、孔板与风管连接，其前端与管道轴线垂直度允许偏差为１°；孔板与风管同心度允许偏差为0.015D。

　　５、在整流栅后，所有连接部分应该严密不漏。

　　6、孔板的流量系数与β值的关系确定，其适用范围应满足下列条件，在此范围内，不计管道粗糙度对流量系数的影响。

　　105
　　0.05<β≤0.49

　　50mm
　　雷诺数小于105时，则应按现行国家标准《流量测量节流装置》求得流量系数α。

　　８、孔板的空气流束膨胀系数ε值查得。

　　表A.2.6 采用角接取压标准孔流束膨胀系数ε值（k=1.4）

　　９、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时，装置连接应符合规定。

　　A.2.7、风室式漏风量测试装置：

　　１、风室式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、均流板、节流器、风室、隔板和喷嘴等组成。

　　２、测试装置采用标准长劲喷嘴。喷嘴按要求安装在隔板上，数量可为单个或多个。两个喷嘴之间的中心距离不得小于较大喷嘴喉部直径的３倍；任一喷嘴中心到风室近侧壁的距离不得小于其喷嘴喉部直径的1.5倍。

　　３、风室的断面面积不应小于被测定风量按断面平均速度小于0.75m/s时的断面积。风室内均流板（多孔板）安装位置应符合规定。

　　４、风室中喷嘴两端的静压取压接口，应为多个且均布于四壁。静压取压接口至喷嘴隔板的距离不得大于小喷嘴喉部直径的1.5倍。然后，并联成静压环，再与测压仪器相接。

　　５、平共处采用本装置测定漏风量时，通过喷嘴喉部的流速应控制在15~35m/s范围内。

　　６、本装置要求风室中喷嘴隔板后的所有连接部分应严密不漏。

　　表A.2.7喷嘴流量系数表

　　８、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时，装置连接应符合规定。

　　Ａ.3、漏风量的测试

　　A.3.1、正压或负压系统风管与设备的漏风量测试，分正压试验和负压试验两类。一般可采用正压条件下的测试来检验。

　　A.3.2、系统漏风量测试可以整体或分段进行。测试时，被测系统的所有开口均应封闭，不应漏风。

　　A.3.3、被测系统的漏风量超过设计和本规范的规定时，应查出漏风部位（可用听、摸、观察、水或烟检漏），做好标记；修补完工后，重新测试，直至合格。

　　A.3.4、漏风量测定值一般应为规定测试压力下的实测数值。特殊条件下，也可用相近或大于规定压力下的测试代替，其漏风量可按下式换算：

　　Q0=Q(P0/P)0.65

　　式中 P0————规定试验压力，500Pa;

　　Q0————规定试验压力下的漏风量{m3/(h·┫)}；

　　P——风管工作压力(Pa);

　　Q——工作压力下的漏风量{m3/(h·┫)}。

　　附录Ｂ　洁净室测试方法

　　B.1、风量或风速的检测

　　B.1.1、对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于５个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

　　B.1.2、对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下：

　　１、风口法是在安装有过滤器的风口处，根据风口开头连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口开头及内截面相同，长度等于２倍风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按少测点数不少于６点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。

　　２、对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前３倍管径或长边长，局部阻力部件后５部管径或长边长的部位。

　　对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于３个。

　　对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测４点。根据管径确定圆环数量，不宜少于３个。

　　B.2、洁净室静压差的检测

　　B.2.1、静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测定。

　　B.2.2、采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。

　　B.2.3、有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

NEBB检测认证风速测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认滤网出口风速是否达到设计要求。
法规依据：IEST推荐做法，参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器：风速仪，型号：ADM-870C
测试位置：每一滤网均作测试，每个滤网被划分成四个测试位置。
测试步骤：a.确认FFU配置图及滤网编号。
b.将风速仪探棒固定置于滤网测试点下方75mm处，待数值稳定后量测5秒取平均值记录。